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发布时间:2022-03-01 04:36:20
净化车间FFU:当使用FFU的时侯,净化车间的吊顶被分成了若干模块,每个模块就是一个FFU,这样我们可以通过调节每个模块(即FFU)来满足吊顶上部送风静压箱的压力平衡的要求,从而大大降低了对该静压箱高度的要求。同时可以节省巨大的送、回风管,故可节省安装空间。尤其是在改造工程受到层高限制时,FFU有效地解决了这一问题。
万级无尘车间标准包括哪些内容?压差:相同洁净度等级的洁净室压差保持一致,对于不同洁净等级的相邻洁净室之间压差要≥5Pa,洁净室与非洁净室之间要≥10Pa。万级无尘车间对温度、湿度无特殊要求时,以穿着洁净工作服不产生舒服感为宜,温度一般控制在冬季20~22℃;夏季 24~26℃;波动±2℃。冬季洁净室湿度控制在30-50%,夏季洁净室湿度控制在50-70%。
安装过滤器。洁净车间的过滤器安装前,先对所有车间进行清扫、擦洗、除尘。对净化空调系统要试运行12小时以上,再次对所有洁净车间进行清扫、除尘后即刻安装。洁净车间的过滤器安装前进行外观查,不可有变形、脱落或断裂情况,安装后要用仪器检测确保无泄漏现象。过滤器采用机械密封时,须采用厚6~8毫米的密封垫料,***粘贴在过滤器边框周围,安装后垫料的压缩应均匀,压缩率为25%~50%。
半导体、集成电路生产的无尘车间要求:半导体材料提纯作为发展半导体器件的重要基础。由于大规模和超大规模集成电路的工艺要求,为得到高纯度的硅材料,原料和中间媒介的高纯度和生产环境的洁净度成为影响产品质量的一个突出问题。集成电路芯片的成品率与芯片的缺陷密度有关,而芯片的缺陷密度与空气中粒子个数有关。因此,集成电路的高速发展,不仅对空气中控制粒子的尺寸有极高的要求,而且也需进一步控制粒子数;同时,对于超大规模集成电路生产环境的化学污染控制也有相关的要求。
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